一、金属材料
常见金属：如铝（Al）、铜（Cu）、铬（Cr）、钛（Ti）、镍（Ni）、金（Au）、银（Ag）等，这些金属具有良好的导电性、导热性或装饰性。
合金材料：如不锈钢、铝合金等，通过镀膜可以进一步提升其耐腐蚀性、硬度或美观度。
二、非金属材料
氧化物：如二氧化硅（SiO₂）、氧化铝（Al₂O₃）、氧化锌（ZnO）等，这些氧化物具有优异的绝缘性、耐磨性或光学性能。
氮化物：如氮化硅（Si₃N₄）、氮化钛（TiN）等，氮化物通常具有高硬度、高耐磨性和良好的化学稳定性。
碳化物：如碳化钛（TiC）、碳化钨（WC）等，碳化物具有极高的硬度和耐磨性，适用于需要承受高负荷或高速摩擦的场合。
其他非金属化合物：如类金刚石（DLC）膜等，具有类似金刚石的硬度和耐磨性，但成本更低。
三、半导体材料
硅（Si）：作为半导体工业的基础材料，通过镀膜可以形成PN结、欧姆接触等关键结构。
砷化镓（GaAs）、氮化镓（GaN）等：这些化合物半导体材料在高速、高频、大功率电子器件中有广泛应用，镀膜技术可以进一步提升其性能。
四、有机高分子材料
聚合物：如聚酰亚胺（PI）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）等，通过镀膜可以赋予其导电性、抗静电性或提高表面硬度等性能。
五、特殊功能材料
光学膜材料：用于制造增透膜、反射膜、滤光片等光学元件，提高光学系统的性能。
生物相容性材料：在医疗器械表面沉积生物相容性好的膜层，提高器械的耐用性和安全性。
自清洁材料：如具有光催化性的二氧化钛（TiO₂）膜等，可以使表面易于清洁并具有抗菌性能。
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